サブ回折限界微小開口の非破壊光学式深さ計測法（第4報） FDTD解析に基づいた低ノイズ光学モデルの構築

佐久間 涼子; 叶 世蔚; 道畑 正岐; 高増 潔; 高橋 哲

doi:10.11522/pscjspe.2017A.0_179

2017年度精密工学会秋季大会

セッションID: C17

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2017A.0_179

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2017年度精密工学会秋季大会

開催地: 大阪大学

開催日: 2017/09/20 - 2017/09/22

サブ回折限界微小開口の非破壊光学式深さ計測法（第4報）

FDTD解析に基づいた低ノイズ光学モデルの構築

*佐久間涼子, 叶世蔚, 道畑正岐, 高増潔, 高橋哲

著者情報

キーワード: 超解像, FDTD法, 非破壊計測法

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抄録

半導体ディバイスやMEMSに代表される微小構造においては，光の回折限界以下の開口サイズを有する微小穴の深さを非破壊で計測する技術が求められている．本研究では，穴付近の特徴的な光学応答に着目した新たな光学式計測法の提案をしている．前報では，複素振幅解析による微小開口深さ算出報を提案し，原理検証実験よりその妥当性が示された．本報では，散乱光成分を付加した新しい光学式計測法を考案し，微小ノイズの改善を目指した．

責任著者(Corresponding author)

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