大型非球面形状のナノメートル測定（第15報） オートコリメータ自己校正の評価

郭 翔; 高橋 哲; 近藤 余範; 尾藤 洋一; 高増 潔

doi:10.11522/pscjspe.2017A.0_203

2017年度精密工学会秋季大会

セッションID: C38

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2017A.0_203

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2017年度精密工学会秋季大会

開催地: 大阪大学

開催日: 2017/09/20 - 2017/09/22

大型非球面形状のナノメートル測定（第15報）

オートコリメータ自己校正の評価

*郭翔, 高橋哲, 近藤余範, 尾藤洋一, 高増潔

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キーワード: ナノメートル計測, 大型非球面形状, 自己校正法, オートコリメータ

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抄録

近年，大型の非球面形状のミラーやレンズの需要が高まっている．しかしこれらの表面形状の高糟度な測定方法は確立されていない．我々はオートコリメータを走査させながら大型の非球面形状を測定する手法についての研究を行ってきた．本研究で，オートコリメータを自己校正した場合の測定精度について，実験的に検証を行い，評価した．

責任著者(Corresponding author)

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