３台のカメラを用いたステレオカメラ法による精密ステージの高精度位置・姿勢計測

抄録

精密ステージの位置と姿勢を計測するために3台のカメラを用いた高精度なステレオカメラシステムを開発した．カメラ数の多いシステムでも高精度な対応点探索を可能にするために，測定パターンの画像から合成した仮画像を使って対応点探索を行う手法を提案した．ステージの移動を測定した結果，カメラの画素配列に起因する周期性誤差をなくすことができ，10×10×10 mm³の空間移動領域を3.1umの系統誤差，1.3umのランダム誤差で測定することができた．