矩形加工物の両面研磨における研磨レート分布の推定

橋本 洋平; 佐野 智哉; 古本 達明; 小谷野 智広; 細川 晃

doi:10.11522/pscjspe.2017A.0_21

2017年度精密工学会秋季大会

セッションID: A17

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2017A.0_21

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2017年度精密工学会秋季大会

開催地: 大阪大学

開催日: 2017/09/20 - 2017/09/22

矩形加工物の両面研磨における研磨レート分布の推定

*橋本洋平, 佐野智哉, 古本達明, 小谷野智広, 細川晃

著者情報

キーワード: 両面研磨, 研磨レート, 加工物姿勢

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抄録

本研究では，矩形加工物の両面研磨時の研磨レート分布の推定に取組む．本推定手法では，相対速度と接触圧力の積に着目し，研磨レートを推定する．そして，接触圧力分布の解析では，両面研磨中の加工物の姿勢も考慮することで，高精度な研磨レート分布の推定を実現する．推定結果から，研磨レートはキャリアの外周側および上下面それぞれの前縁側で高くなり，最大値は最小値の1.2倍と不均一な分布となることを明らかにした．

責任著者(Corresponding author)

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