表面吸着活性種の輸送を用いたドライ平坦化法の開発 単結晶ダイヤモンドの加工

両粂 玲志; 大西 諒典; 松山 智至; 佐野 泰久; 山内 和人

doi:10.11522/pscjspe.2017A.0_23

2017年度精密工学会秋季大会

セッションID: A18

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2017A.0_23

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2017年度精密工学会秋季大会

開催地: 大阪大学

開催日: 2017/09/20 - 2017/09/22

表面吸着活性種の輸送を用いたドライ平坦化法の開発

単結晶ダイヤモンドの加工

*両粂玲志, 大西諒典, 松山智至, 佐野泰久, 山内和人

著者情報

キーワード: 炭化ケイ素, ダイヤモンド, 大気圧プラズマ, 平坦化

会議録・要旨集フリー

詳細

抄録

我々はSiCやダイヤモンド等の機能性材料表面に対する平坦化技術の開発を行ってきた．本手法は触媒作用を付加した基準面を導入したドライエッチングであるため，加工対象材料に機械的なダメージは入りえない．これまで、触媒としてNiやAl2O3を用いて単結晶SiCの平坦化に成功している．そこで，本発表では，新たに単結晶ダイヤモンドに対して本手法を適用した結果を報告する．

責任著者(Corresponding author)

J-STAGEへの登録はこちら（無料）