CMPスラリーろ過におけるフィルター細孔表面への砥粒吸着とろ過特性の検討

抄録

CMPスラリーを種々材質の多孔質膜フィルターによりろ過し膜材質の影響を検討した。材質によらずろ過開始時の砥粒濃度低下および回復が見られた。細孔表面での砥粒吸着、吸着砥粒の静電的斥力による分散砥粒吸着の抑制と解釈された。ろ過において細孔表面は吸着砥粒で覆われ膜材質の影響は顕在化しないものと考えられる。砥粒吸着は初期差圧の上昇、変動を引き起こしていた。細孔表面に小量の砥粒を吸着させる等の前処理により初期差圧の上昇、変動が抑制された。