電解エッチングの均一化による外径100μm極微細スリット多孔管の作製

抄録

レーザ走査リソグラフィと硝酸ナトリウム、塩化アンモニウム水溶液による電解エッチングを用いて外径100μm、内径60μmのSUS304ステンレス管に幅約30μm、長さ約175μmのスリット形状の穴を円周方向90度おきに4列、軸方向に22個ずつ、計88個貫通させた。従来の塩化ナトリウム、塩化アンモニウム水溶液による電解エッチングに対して軸方向のエッチングむらが減り、良好に開孔できた。