鉛直振動により浮上する圧電アクチュエータの振動モデル

抄録

本研究では積層型圧電素子を用いて、浮上して移動するアクチュエータの実用化を目指す。これまでに、このアクチュエータのアドミタンス、端子電圧と電流、それらの位相差の周波数特性や測定した。また、周波数特性を浮上時と非浮上時でそれぞれ測定し、比較した。アクチュエータの動作のシミュレーション解析に向け今回は運動モデルの作成・評価を行う。