シータ管ナノピペットを用いた走査型イオン伝導顕微鏡による液中環境での電気泳動堆積法の開発

抄録

我々はこれまでにキャピラリーガラス管(ナノピペット)を用いた電気泳動堆積法により，コロイド微粒子を基板上に立体的に堆積する加工法を開発してきた．しかし大気中環境での堆積加工のため，ピペット内部において乾燥による目詰まりが発生し，加工再現性が低下する問題があった．そこで，本研究では液中環境で動作可能な走査型イオン伝導顕微鏡を用いてピペット先端の高精度な位置決め制御を行うことで加工再現性を向上させた．