微細周期構造を有した光学素子の設計，製造，計測評価方法（キーノートスピーチ）

浅野 功輔

doi:10.11522/pscjspe.2017A.0_947

2017年度精密工学会秋季大会

セッションID: P01

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2017A.0_947

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2017年度精密工学会秋季大会

開催地: 大阪大学

開催日: 2017/09/20 - 2017/09/22

微細周期構造を有した光学素子の設計，製造，計測評価方法（キーノートスピーチ）

*浅野功輔

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抄録

リソグラフィを使用した微細加工プロセスの進歩に伴い，微細周期構造を有する光学素子に関する研究が色々見受けられる．今回はKrFエキシマレーザー (発振波長: 248 nm) を光源とした半導体露光装置を使って微細周期構造を有する光学素子を製造する場合の，設計，製造，計測評価（CD-AFM, 光CD計測，「Contour」と言う機能が付いたCD-SEM）の方法に関して報告する．

責任著者(Corresponding author)

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