フォトニックナノジェットを利用した微細加工に関する研究（第4報）

入射光波長制御によるフォトニックナノジェットの強度分布制御

抄録

フォトニックナノジェットは直径数ミクロンの誘電体球にレーザ光を照射することで発生するビームであり，そのビーム径は入射光波長の半分程度，ビーム長さは入射光波長の数倍である．フォトニックナノジェットのビーム径は入射光波長の制御によって数十ナノメートルの分解能で制御可能であるため，波長可変のフェムト秒レーザを用いてフォトニックナノジェットのビーム径を制御し，加工径を制御した．