硬脆材料に対するテープ研削加工特性評価のための理論解析

抄録

硬脆基板材料のためのテープ研削法について，筆者らは確率的手法による表面性状を解析するシミュレーション法をこれまでに提案している．本報では加工パラメータ変更による影響についてシミュレーションと実験の比較・検証を行う．