微粒子励振型空気流量比例制御弁の流量特性の改善方法の考案 第3報　応答性の改善を目指した新たな駆動方法の提案

三宅 優哉; 廣岡 大祐; 古城 直道; 山口 智実

doi:10.11522/pscjspe.2017S.0_155

2017年度精密工学会春季大会

セッションID: C09

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2017S.0_155

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2017年度精密工学会春季大会

開催日: 2017/03/13 - 2017/03/15

微粒子励振型空気流量比例制御弁の流量特性の改善方法の考案

第3報　応答性の改善を目指した新たな駆動方法の提案

*三宅優哉, 廣岡大祐, 古城直道, 山口智実

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キーワード: 流量制御弁, 圧電素子, 空気圧

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抄録

本研究では，小型・軽量で連続的な流量制御を可能にする空圧比例制御弁の開発を行っている．この制御弁は圧電素子の振動により流路に封入された微粒子を励振させることで，オリフィスの開口数を調整し，圧電素子への印加電圧に対応した出力流量を得ることができる．本報では，立下り時の応答性の改善を目指し，オリフィス上の微粒子の運動を制御し出力流量の調整を行う新たな駆動方法を考案した．

責任著者(Corresponding author)

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