精密運動のための空気圧サーボ系の実用的な制御系設計法

抄録

空気圧サーボ系は防爆性に優れ，磁気漏洩が無いという長所を持ち，精密なサーボ系にも利用されてきている．しかし，強い非線形性を持つため，その精密運動は特別な機構や複雑で難しい制御方法で実現されている．そこで，本報では一般的な空気圧機器を対象に，精密運動のための実用的な制御系設計法を提示し，その有効性を実験的に検証した結果について，報告している．