CMPにおけるウェーハ・研磨パッド間スラリー流れの可視化（第3報）

ウェーハ・研磨パッド間凹凸領域における循環流れの存在について

抄録

CMPの研磨メカニズムの解明に貢献するために，本研究では，研磨メカニズムに重要な役割を果たしていると考えられるウェーハ・研磨パッド間スラリー流れの可視化を試みている．研磨中にその場観察することは非常に困難なので，流れの相似則を利用して模擬的なスラリー流れを発生させ可視化する方法を考案し，第1報で報告した．第3報では，本方法により観察されたウェーハ・研磨パッド間凹凸領域の循環流れについて報告する．