微細毛構造を持つ双極型静電チャックの吸着部平滑化による把持性能向上

抄録

微細毛構造を有する双極型静電チャックは，プラスチックフィルムといった任意の面積を持つ薄膜の繊細な把持を可能とするが，適用範囲の拡大や把持に要する印加電圧の低減に向けて，ファイバー毎の吸着性能改善が求められる．本研究では，樹脂製デバイスの吸着部を加熱平板に押し当て平滑化することで，各ファイバーが発生する吸着力を向上させ，把持性能の改善を評価する．そして，薄膜の把持に対する本改良の有効性を示す．