自律的欠陥探索・分裂型マルチプローブによるナノ異物検出に関する研究（第6報） 数値流体力学を用いた液相プローブの挙動特性に関する解析

浅井 祥平; 橘 一輝; 道畑 正岐; 高増 潔; 高橋 哲

doi:10.11522/pscjspe.2017S.0_81

2017年度精密工学会春季大会

セッションID: B04

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2017S.0_81

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2017年度精密工学会春季大会

開催日: 2017/03/13 - 2017/03/15

自律的欠陥探索・分裂型マルチプローブによるナノ異物検出に関する研究（第6報）

数値流体力学を用いた液相プローブの挙動特性に関する解析

*浅井祥平, 橘一輝, 道畑正岐, 高増潔, 高橋哲

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キーワード: 光計測, ナノ異物, 数値流体力学

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抄録

基板上微細加工技術の進歩に伴い求められている，製造プロセス中で平滑基板上ナノ異物を高感度，高速，非破壊的に検出する方法として，我々は不活性揮発性液体を計測プローブとする新しい概念の光学的手法を提案している．提案手法のナノ異物検出特性を把握するためには液相プローブ挙動の定量的な理解が不可欠である．そこで本報では数値流体力学を用いて，ナノ異物周りでの液相プローブ挙動特性の解析を試みた．

責任著者(Corresponding author)

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