添加ガスを加えた大気圧プラズマジェット局所照射によるサブマイクロスケール加工

抄録

大気圧プラズマジェット（APPJ）は表面処理や材料加工などへ応用され、真空環境を必要としない利便性から近年注目を集めている。我々はナノピペットと呼ばれるサブミクロンの開口を持つ先鋭ガラス管をAPPJのノズルと走査型プローブ顕微鏡の探針の両方に用いた新規な微細加工技術を開発した。本研究では生成したヘリウムAPPJへ別のガスの微量添加による表面微細加工を行ったのでその結果を報告する。