圧電インパクト駆動機構アクチュエータにおける摩擦部の検討と微小変位発生

抄録

走査型電子顕微鏡（SEM）の試料位置決め・マニピュレーション用アクチュエータには、ナノメートルオーダの精度とミリメートルオーダーのストロークが要求されている。そこで、圧電インパクト駆動機構の出力変位の微細化を目的に、我々は摩擦部分の機構について検討した。60 nm 以下の微小変位を安定に発生する機構について報告する。