電界スラリー制御技術を用いた小径工具による研磨加工の基礎検討

第3報

抄録

被加工物よりも小さな研磨工具によって表面を仕上げる研磨加工法は、天体望遠鏡などの大口径反射鏡の研磨仕上げや、非球面形状の研磨仕上げなどに用いられている。本研究では、電界によって研磨スラリーを所定の位置に配置制御する「電界スラリー制御技術」を小径工具による研磨加工に適用して研磨効率を向上させる加工法において、印加周波数の影響について検討した。また、研磨パッド種による差についても検討した。