PVAスポンジ-固体材料間の摩擦特性の表面自由エネルギーによる評価

抄録

CMP洗浄メカニズムの重要な要素だと考えられる摩擦現象を材料界面の相互作用から評価する場合、一般的な表面物性であるぬれ性だけでは評価しきれない部分がある。そこで、固体間の密着力評価に用いられる表面自由エネルギーを用いて摩擦を評価することを考えた。本研究では高分子やガラスなどの固体材料とPVAスポンジとの液中における摩擦力を様々な条件で計測し、それぞれが持つ表面自由エネルギーによる摩擦特性の考察を行った。