分子動力学法によるシリコン酸化膜へのシリカ砥粒付着力の評価

抄録

CMP後洗浄への要求は厳しくなっており，水中におけるシリコンウェーハ酸化膜への砥粒付着のメカニズム解明や，付着力の見積もりが求められている．砥粒付着には環境中における表面の微小な分子構造変化等の現象が関与していると考えられるため，本研究では分子動力学法による数値解析で砥粒付着力を見積もる事を試みた．分子動力学法の力場として固液界面への適用に優れたReaxFFを用い，付着力の計算手法としてはWHAM法を用いた．