半導体表面のエッチングを促進するグラフェン触媒の形成と評価

抄録

我々は、半導体表面上に単一グラフェンシートを散布・形成すると、溶液中でグラフェンが触媒作用を発現し、近傍の半導体表面が選択的にエッチングされることを見出した。しかし、この現象を現実の加工プロセスに適用するためには、エッチングレートのさらなる向上が必要である。そこで今回は、グラフェン内部の原子構造を制御することにより、触媒活性の向上を図った。そして、電気化学測定等によりその性能を評価した。