レーザアシスト加熱による多極着磁磁石を用いた2自由度電磁マイクロアクチュエータ

抄録

スマートフォンカメラの手振れ補正用アクチュエータには，小形かつ多自由度駆動が要求される．本研究では，MEMSプロセスでの製作を念頭において，レーザアシスト加熱による薄板焼結磁石や成膜磁石の微細多極着磁を実現し，それを用いた２自由度マイクロアクチュエータの試作を検討している．本報では，レーザアシスト加熱による微小磁石の着磁方法やその実験結果，それを支持する弾性案内やマイクロボールガイドに関して報告する．