実験とシミュレーションによる砥粒径のばらつきが研削面に与える影響の調査

抄録

砥石に含まれる砥粒の径は均一ではなく，ばらつき（分布）を持っているが，このばらつきについて日本工業規格(JIS)には規定がなされていない．これまでの筆者らの研究では，砥粒径のばらつきを小さくすると有効砥粒切れ刃の数を劇的に増加できることを明らかにした．本報では砥粒径のばらつきが研削表面トポグラフィの形成および研削面粗さに与える影響を調査するためシリコンウエハ研削と研削シミュレーションによる解析を実施した．