金属箔による精密加工の可能性

抄録

本研究では，カーフロス（切溝損失）を低減させるため，極薄金属箔の工具としての可能性について検討する．カーフロスの大幅な減少は，ウェハ製造コストを容易に圧縮することが可能である．また，希少材料を有効利用することにもつながり，省資源の観点からもこれからのウェハ製造業にとって重要な課題の一つである．本報では，厚さ10～50μmの金属箔を用いて，硬脆材料の溝加工を試みた結果を報告する．