電子部品検査における画像生成による欠陥学習データ確保の検討

抄録

精密な電子部品を製造する際，電子部品に欠陥がないか検査装置により自動識別されている．電子部品の微細化，多機能化に伴い，検査の高感度化が要求されている.微細欠陥を検出し得るが、一方で正常部を欠陥として誤って認識する過検出が発生してしまう．このため，低次元モデルで表現可能な Auto-Encoderによる学習用欠陥画像の自動生成手法を提案する．