レーザ穴加工時に穴内面に形成する再堆積層の観察

佐藤 俊; 比田井 洋史; 松坂 壮太; 千葉 明; 森田 昇

doi:10.11522/pscjspe.2019S.0_571

2019年度精密工学会春季大会

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2019S.0_571

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主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2019年度精密工学会春季大会

開催地: 東京電機大学

開催日: 2019/03/13 - 2019/03/15

レーザ穴加工時に穴内面に形成する再堆積層の観察

*佐藤俊, 比田井洋史, 松坂壮太, 千葉明, 森田昇

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キーワード: レーザ, 穴あけ, 成膜, ガラス

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p. 571

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抄録

レーザ穴あけでは，光吸収部が飛散することで穴が形成する．このため，穴内面に飛散物が再堆積し再堆積層を形成することがある．この現象を利用し，穴あけ材料と成膜材料の積層材にレーザ照射することで，穴あけ材料への穴あけと成膜材料の穴内面成膜を同時に行うことができる．本研究では再堆積層の形成原理の解明を目的とし，再堆積層が形成された穴断面を分析することで，再堆積層が形成していく様子を検討した．

責任著者(Corresponding author)

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