回折限界を超えたレーザ微細加工 金ナノ粒子を利用したナノクレータ加工

池川 英輝; 山田 海; 山田 洋平; 池野 順一

doi:10.11522/pscjspe.2019S.0_570

2019年度精密工学会春季大会

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2019S.0_570

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2019年度精密工学会春季大会

開催地: 東京電機大学

開催日: 2019/03/13 - 2019/03/15

回折限界を超えたレーザ微細加工

金ナノ粒子を利用したナノクレータ加工

*池川英輝, 山田海, 山田洋平, 池野順一

著者情報

キーワード: レーザ, ガラス

会議録・要旨集フリー

p. 570

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抄録

レーザによる微細加工技術には回折限界があるため，波長以下の分解能で加工ができない問題がある．そこで，回折限界を超えた加工を実現するため，ガラス表面にスパッタリング法で金薄膜を成膜し，レーザを照射することで凝集させた金ナノ粒子を用い，レーザ微細加工を試みた．本報では数十ナノメートルのナノクレータ加工を行った結果について報告する．

責任著者(Corresponding author)

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