主催: 公益社団法人精密工学会
会議名: 2019年度精密工学会春季大会
開催地: 東京電機大学
開催日: 2019/03/13 - 2019/03/15
p. 576-577
超短パルスレーザにより誘起されるナノ周期構造は様々な表面機能を付与でき,そのパターンの制御技術が注目されている.本研究では,鋼材表面にピコ秒パルスレーザを照射し,ナノ周期構造の形状およびパターン制御を試みた.レーザ照射の雰囲気や繰り返し走査回数を変化させることで,周期構造の間隔が変化することを明らかにした.また,レーザの走査方向を交差させることで,ナノドットアレイなど様々なパターンが形成された.