ロータリ型インフィード平面研削におけるウエハ周速の影響に関する調査

抄録

ロータリ型インフィード平面研削の加工メカニズムは砥石回転速度，ウエハ回転速度，送り速度に依存する．これまで砥石回転速度と送り速度の影響を調査してきたが，ウエハの周速についてはその影響が小さいことから議論が十分になされていない．本研究では単結晶シリコンウエハのロータリ型インフィード平面研削におけるウエハ周速（回転速度およびウエハ半径）の影響を調べ，材料除去モードの遷移を考察する．