ガラス研磨における研磨レートとスラリー流れの関係

抄録

これまで，研磨パッド表面を拡大した可視化模型の作製と，流れの相似則により発生させた模擬スラリー流れによって，ウェーハ・研磨パッド間のアスペリティ領域について可視化観察する方法を考案し，循環流れの存在を明らかにした．そして，Cu CMPにおいて循環流れと研磨レートとの間に相関があることを示した．本研究では，ガラス研磨におけるスラリー流れについて可視化実験を行い，循環流れと研磨レートの関係について調査した．