超短パルスレーザによるサファイア加工の超広時間スケール観察

抄録

透明材料への微細加工手法として超短パルスレーザが注目されるが，加工時に生じるダメージのために精密加工が困難である．本研究では，ポンプ・プローブ撮像法と高速度カメラを複合することで，サファイア加工中の超高速現象をピコ秒からミリ秒に至る広い時間スケールで観察した．その結果，ダメージは材料内部を伝搬する応力波によって生成され，加工進行に伴う応力波の形態変化に依存しダメージ形態も変化することが示された．