過渡選択的レーザ吸収と高温領域の掃引によるガラスの微細高速溝加工法

抄録

ガラス材料に対する微細溝加工において，能率と微細性の両立が困難である．本研究では，フェムト秒レーザ照射により光吸収率を上昇させた領域に，透過波長の連続波レーザを選択的に吸収させ，加熱する．形成した高温領域を起点とし，連続波レーザを掃引することで，加工領域を拡張させる溝加工法を提案した．本手法により，加工速度150 m/s，幅約10 μm，深さ約150 μmという高速性と微細性を両立した溝加工を実現した．