精密工学会学術講演会講演論文集
2021年度精密工学会秋季大会
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電子励起領域へのレーザ吸収を用いたガラスの微細高速接合における密度分布変化の解析
*吉武 俊哉伊藤 佑介吉崎 れいな服部 隼也長藤 圭介杉田 直彦
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キーワード: ガラス, 微細接合, レーザ
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p. 190

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抄録

これまでに,ガラスに対する微細高速接合手法として,超短パルスレーザ照射により過渡的に形成した 電子励起領域への連続波レーザの選択的吸収が有効であることを示してきた.しかし,急速な加熱がガラス内部の密度変化や接合品質へ与える影響は明らかとなっていない.そこで本研究では,マッハ・ツェンダー干渉計によって密度分布の時間発展を明らかにすることで,急加熱が接合に与える影響を評価した.

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© 2021 公益社団法人 精密工学会
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