結像型ディフレクトメトリによる変位および回転角度計測手法の提案

抄録

一般的なデフレクトメトリは，対象物の角度変化に対する感度が非常に高く，角度の微小な変化に埋もれることで面外変位の計測が困難であった．一方，結像型デフレクトメトリは，鏡面状の計測対象物表面に結像させることで角度変化に対する感度を小さくし，面外変位計測ができるようにした手法である．本研究では，格子パターンの位相分布を元にして変位と角度の成分を分離する手法を提案する．