一体型XYθ変位ステージの周波数応答解析と動作実験

抄録

近年、電子機器への電子部品の実装や細胞の操作など、様々な場面で高速かつ高精度な位置決め装置が求められている。本研究室では、精密位置決め自走ロボットの開発を行っているが、歩幅や速度が不十分である。この問題を解決するために、自走ロボットに搭載するXYθ変位ステージを開発した。機構はFEM解析により設計し，周波数応答解析で機構の動特性を確認した。さらに動作実験を行い，解析値と比較することで性能を評価した。