精密工学会学術講演会講演論文集
2021年度精密工学会秋季大会
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表面電位計とスリット板を組み合わせた表面電位計測
*茶田 智来吉元 俊輔山本 晃生
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p. 200-201

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抄録

本研究の目的は,物体の表面電位の非接触計測に簡易な工夫を加えることで計測の空間分解能を向上させることである.本報では,距離補償型表面電位計のプローブと計測対象物の間に導体のスリット板を配置する手法を提案する.この手法によって一次元の表面電位分布の計測を行い,既存の手法よりも空間分解能が2倍程度高い結果を得た.これにより,提案手法を用いることで表面電位計測の空間分解能が向上する可能性を示した.

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© 2021 公益社団法人 精密工学会
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