４つのエンコーダと二次元スケールを用いた変位計測センサのθ軸変位の計測性能の検証

塩田 雅人; 田邉 健冴; 楠井 瑛士; 飯塚 寛太; 渕脇 大海

doi:10.11522/pscjspe.2021A.0_369

2021年度精密工学会秋季大会

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2021A.0_369

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2021年度精密工学会秋季大会

開催地: オンライン開催

開催日: 2021/09/21 - 2021/09/27

４つのエンコーダと二次元スケールを用いた変位計測センサのθ軸変位の計測性能の検証

*塩田雅人, 田邉健冴, 楠井瑛士, 飯塚寛太, 渕脇大海

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キーワード: 3軸変位センサ, インチワーム機構, 動作補正, 精密位置決め

会議録・要旨集フリー

p. 369-370

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抄録

4つのエンコーダと2自由度をもつスケールで構成された，XYθの3軸を計測できる変位計測センサの開発を行ったが，θ軸計測性能の評価はしていないため，その検証を行った．実験の結果，θ軸変位の計測範囲は±27°であることを確認した．また，線形補間を利用した動作補正を加えることで，オープンループ制御によるホロノミックインチワーム機構の自転運動時の位置決め誤差を低減することに成功した．

責任著者(Corresponding author)

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