中赤外線レーザの開発とレーザオートコリメーション法への適用（第2報）

抄録

レーザオートコリメーション法は非接触精密角度計測法として多用される．可視光を用いる従来法では，参照ミラーが必須である．一方で，参照ミラーが不要なオートコリメーション法が実現すれば，リニアガイドの検査，加工中の運動誤差計測などに応用可能と考えられる．我々はこれまで中赤外線をオートコリメーション法に適用してきた．本報告では，計測対象に対して垂直入射が可能な中赤外線オートコリメータの開発について報告する．