主催: 公益社団法人精密工学会
会議名: 2021年度精密工学会秋季大会
開催地: オンライン開催
開催日: 2021/09/21 - 2021/09/27
p. 579-580
レーザオートコリメーション法は非接触精密角度計測法として多用される.可視光を用いる従来法では,参照ミラーが必須である.一方で,参照ミラーが不要なオートコリメーション法が実現すれば,リニアガイドの検査,加工中の運動誤差計測などに応用可能と考えられる.我々はこれまで中赤外線をオートコリメーション法に適用してきた.本報告では,計測対象に対して垂直入射が可能な中赤外線オートコリメータの開発について報告する.