精密工学会学術講演会講演論文集
2021年度精密工学会秋季大会
会議情報

中赤外線レーザの開発とレーザオートコリメーション法への適用(第2報)
*松隈 啓又吉 楓長岡 将史清水 裕樹高 偉
著者情報
会議録・要旨集 フリー

p. 579-580

詳細
抄録

レーザオートコリメーション法は非接触精密角度計測法として多用される.可視光を用いる従来法では,参照ミラーが必須である.一方で,参照ミラーが不要なオートコリメーション法が実現すれば,リニアガイドの検査,加工中の運動誤差計測などに応用可能と考えられる.我々はこれまで中赤外線をオートコリメーション法に適用してきた.本報告では,計測対象に対して垂直入射が可能な中赤外線オートコリメータの開発について報告する.

著者関連情報
© 2021 公益社団法人 精密工学会
前の記事 次の記事
feedback
Top