主催: 公益社団法人精密工学会
会議名: 2021年度精密工学会秋季大会
開催地: オンライン開催
開催日: 2021/09/21 - 2021/09/27
p. 587
近年バイオメディカル研究分野等において,光の回折限界以下の解像が可能な顕微技術の開発が求められている.微細な表面処理を施した基板表面の近接場を用いた構造照明顕微法は回折限界に制限されない解像力を持つことが示されているものの,具体的な表面処理方法に関しては検討が進められていなかった.本報では,構造照明生成基板としてアノード酸化Al基板を提案し,得られる照明分布などについて解析を行う.