精密工学会学術講演会講演論文集
2021年度精密工学会秋季大会
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微細構造基板を利⽤した超解像イメージングに関する研究(第5報)
アノード酸化Al基板による構造照明特性の解析
*市川 廉増井 周造久米 大将西川 正俊門屋 祥太郎道畑 正岐高橋 哲
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p. 587

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抄録

近年バイオメディカル研究分野等において,光の回折限界以下の解像が可能な顕微技術の開発が求められている.微細な表面処理を施した基板表面の近接場を用いた構造照明顕微法は回折限界に制限されない解像力を持つことが示されているものの,具体的な表面処理方法に関しては検討が進められていなかった.本報では,構造照明生成基板としてアノード酸化Al基板を提案し,得られる照明分布などについて解析を行う.

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© 2021 公益社団法人 精密工学会
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