2022年度精密工学会秋季大会
会議情報
主催: 公益社団法人精密工学会
会議名: 2022年度精密工学会秋季大会
開催地: オンライン開催
開催日: 2022/09/07 - 2022/09/09
広帯域光周波数コム散乱分光による表面トポグラフィ計測に関する基礎的研究（第6報）
VIPA分光法を用いた表面像と回折像分光における単一光ファイバによる強度分布測定の空間分解能の検証
p. 204-205
詳細
主催: 公益社団法人精密工学会
会議名: 2022年度精密工学会秋季大会
開催地: オンライン開催
開催日: 2022/09/07 - 2022/09/09
p. 204-205
数nmから数十μmの3次元微細加工において，表面トポグラフィ計測手法が求められている．広範囲かつ高精度な計測の実現のために，光周波数コムを光源としたレーザ逆散乱法による表面トポグラフィ計測系を開発している．単一の光ファイバを用いた表面像と回折像の強度分布測定の空間分解能は光ファイバのコア径とファイバの走査間隔に依存する．本報告では，光ファイバによる強度分布測定の空間分解能について検証を行った．
