4wayラップ盤における定盤の変化とウェーハ挙動の関係に関する研究

抄録

4wayラップ盤の加工ではウェーハを上定盤と下定盤で挟んで加工するため，加工中にウェーハを観察することが困難である．そのため，ウェーハ挙動が加工影響について明らかになっていない部分が多い．そこで本研究では，アクリル板を上定盤の代わりに使用することでウェーハを可視化し，下定盤の回転速度と上定盤の溝を変化させて観察を行った．そして，下定盤の回転速度と上定盤の溝がウェーハ挙動に与える影響について検討した．