マイクロ研削盤におけるAEセンシングに関する基礎研究

砥面の摩擦状態変化で生じるAE信号波形の特徴

抄録

マイクロ研削において，砥面で生じる微視的な摩擦状態変化は極めて複雑であり，それらの認識は困難である．本研究では，砥粒の目詰まりや潤滑の有無など様々な条件下におけるマイクロ研削時の摩擦状態変化に焦点を当て，研削現象とAE信号波形の関連性を調査した．本実験の結果，潤滑時や目詰まり状態では，無潤滑・新品状態に比べ，アブレシブ摩擦や凝着摩擦による周波数スペクトルが減少していることがわかった．また，潤滑油の使用により，研削における周波数スペクトルが増加することがわかった．