回転軸対称ミラーを用いた円筒マイクロ部品への円周一括露光技術の基礎検討

抄録

円柱・円筒形状試料へのリソグラフィ技術として、試料上へパターンを一括形成すべく、試料を囲むように曲面ミラーを配置して試料円周方向にパターン転写する露光法を検討した。投影露光装置を自作し、線幅100μm-500μmの環状パターンを描いたマスクを用い、ネガ型レジストを塗布した直径5mmの円柱試料に露光を行なった。500μmのライン&スペースパターンを全周に、100μmのパターンを部分的に形成できた。