炭窒化チタン薄膜の摩擦・摩耗特性と機械的特性に及ぼす組成比の影響

抄録

本研究では，金型・工具の硬質コーティング膜として広く使用されている炭窒化チタン（TiCN）薄膜に着目し，イオンプレーティング法によりステンレス基板上に組成比を変えてTiCNを成膜した．TiCN薄膜のアルミナに対する摩擦係数は0.1〜0.2程度であり，炭素比率の増加とともに耐摩耗性が向上し，炭素比率の増加による格子ひずみの増加と結晶粒の微細化により，TiCN薄膜の硬さとヤング率も向上した．