FCVA法によるta-C膜の3次元成膜および特性評価

抄録

ダイヤモンドライクカーボン（DLC）は，高硬度，低摩擦係数，高耐摩耗性などの優れた特性を有することから表面特性を改善するための効果的な表面材料であり，多くの分野で応用されている．しかし，表面改質を必要とする工業製品の多くは3次元構造を有しているにもかかわらず，3次元成膜の成膜方法に関する研究は限られている．そこで本研究では，FCVA法によりDLCを3次元微細形状物上に合成し，その膜の特性評価を行った．