超音波振動子と対向面を用いたポンプの開発（第7報） 曲げ振動モードの利用の検討

中筋 勇樹; 高崎 正也; 石野 裕二; 水野 毅

doi:10.11522/pscjspe.2023A.0_369

2023年度精密工学会秋季大会

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2023A.0_369

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主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2023年度精密工学会秋季大会

開催地: 福岡工業大学

開催日: 2023/09/13 - 2023/09/15

超音波振動子と対向面を用いたポンプの開発（第7報）

曲げ振動モードの利用の検討

中筋勇樹, *高崎正也, 石野裕二, 水野毅

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キーワード: 超音波, ポンプ, 曲げ振動モード, 対向子

会議録・要旨集フリー

p. 369-370

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抄録

先行研究において，ボルト締めランジュバン型振動子と，表面形状にテーパ面を持つ金属ブロック（以後，対向子と呼ぶ）を用いた超音波ポンプが提案された．超音波振動子先端に対向子を設置し振動子を駆動させると，振動子と対向子の間に圧力が発生し，ポンプ効果が発現する．この構成のポンプの小型化を目指し，曲げ振動モードの利用を検討した．円板の1次曲げモードを利用した超音波振動子を製作し，実験を試みた．

責任著者(Corresponding author)

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