非走査傾斜角計測法によるマイクロ周期構造の一括計測（第2報）

正弦波形状標準片の計測実験による原理検証

抄録

工業製品の微細化に伴い，加工精度の保証や機能性の評価の観点から高精度形状計測の重要性が増している．本研究では，マイクロメータオーダの周期構造を対象として，干渉法や走査型ディフレクトメトリに比較して高速かつロバストな光学的形状評価技術の実現を目指している．本報では，回折光強度分布を利用した非走査・一括傾斜角計測による形状評価手法を提案し，光反射モデルの検証をはじめとした基礎的検討について報告する．