干渉計スティッチ測定技術の開発

同心円状測定における位置誤差の影響

抄録

干渉計測定におけるスティッチ測定技術は、測定範囲の拡大、非球面・自由曲面形状への対応、高分解能化、など様々な面で有効性が認められている。しかし、多くの場合で大掛りな測定システムが必要とされ、生産現場への導入は容易ではない。そこで球面測定の大口径化に焦点を絞り、シンブルなスティッチ測定技術を開発した。同心円状に取得した部分測定のスティッチ測定と全面一括測定を比較評価し、良好な結果を得た。